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보유기기전체

크리스탈 벨리의 중심대학 선문대학교 반도체.디스플레이 분야의 공동연구장비를 지원합니다.
  • EPMA
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  • 전자탐침 미소분석기
    Electron Probe X-ray Micro Analyzer
    제조사 : JOEL
    모델명 : JXA-8100(2ch)
    이니셜 : EPMA
    구입일 : 2007년
    보유수량 : 1
    장비상태 : 정상
    장비분류 : 광학기초장비
    보유기관 : PDP센터
    연구장비 공동활용 지원사업 장비

    예약하기

장비개요
EPMA는 전자현미경과 같이 SEM 이미지를 측정하고 측정된 표면에 분포되어 있는 원소들의 분포를 정성적 및 정량적으로 측정하여 분석할 수 있는 전자현미경
응용분야 및 주용용도
1) 금속, 세라믹, 반도체, 유리, 등의 표면 관찰 및 성분분석
2) 재료들간의 표면관찰, 성분분석과 혼합정도 측정
3) PDP 재료의 성분분석 및 계면반응평가
4) Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer (WDS)
(파장분산형 X-ray 분광기)
5) 표면의 미세 구조의 원소 분포 분석 기능
6) 표면의 영역 원소의 정성 및 정량 분석 기능
주요사양
1) 가속전압(Accelerating Voltage) : 200 V ~ 30 kV
2) Gun type : LaB6
3) 배율(Magnification) : X40 ~ X300,000
4) 분해능(Resolution) : 6.0nm (WD 11mm)
5) 관찰상(Detectors) : SEI, BEI
6) detective Element Range : 4Be to 92U
7) Probe Current : 10E-12 ~ 10E-5A
실험비용
120,000/시간
담당자 연락처
담당자 : 정인영
연락처 : 041-530-2889
이메일 : jiy79024@sunmoon.ac.kr

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