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보유기기전체

크리스탈 벨리의 중심대학 선문대학교 반도체.디스플레이 분야의 공동연구장비를 지원합니다.
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  • 3차원 미세 형상 측정기
    3D Nano-Surface Profiler
    제조사 : 지스캔(주)
    모델명 :
    이니셜 : NSP
    구입일 : set-up중
    보유수량 : 1
    장비상태 : 수리중
    장비분류 : 광학기초장비
    보유기관 : PDP센터
    연구장비 공동활용 지원사업 장비

    예약하기

장비개요
고배율의 광학계를 이용한 미세형상 측정
응용분야 및 주용용도
전기, 전자, 금속 등 다양한 연구 분야, 선폭, 높이 측정
주요사양
1. Scanning probe
Method : White-Light Scanning Interferometry
F.O.V:1.28*0.96~0.12*0.09 (4종)
Scan range : 200 um
Scan speed :10u m/s
Resolution : 0.1 nm
2. Moving stage(X)
Stroke : 600 um
Max. speed : 200 mm/s
Resolution : 0.1 um
3. Moving stage(Y)
Stroke : 400 um
Max. speed : 200 mm/s
Resolution : 0.1 um
4. Moving stage(Z)
Stroke : 100 um
Max. speed : 100 mm/s
Resolution : 0.1 um
5. Control System
Host PC Controller
DIO Interface Controller
Optical Vision System Controller
실험비용
70,000 원/시간
담당자 연락처
담당자 : 정인영
연락처 : 041-530-2889
이메일 : jiy79024@sunmoon.ac.kr

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